发射源：高稳定型肖特基场发射电子枪

     分辨率：

     加速电压范围：200 V ~ 30 kV
     着陆电压范围：200 eV ~ 30 keV
     探针电流范围：1 pA ~ 50 nA，连续可调（可选配400 nA）
     最 大水平视场宽度：10 mm WD时为3 mm（相当于 最 低放大倍率29倍）
     X-Ray工作距离：10 mm，EDS检出角35°
     样品室：从左至右为340mm宽的大存储空间，样品室可拓展接口数量12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）
     样品台：五轴优中心全自动马达驱动X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o （连续旋转）
     多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12mm）

     探测器系统：
     样品室二次电子探测器ETD
     镜筒内背散射电子探测器T1
     镜筒内二次电子探测器T2
     镜筒内二次电子探测器T3（选配）
     样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）
     图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
     样品室低真空二次电子探测器（选配）
     可伸缩透镜下背散射探测器（选配）

     控制系统：
     操作系统：Windows 10
     图像显示：24寸LCD显示器，最 高显示分辨率1920×1200
     支持用户自定义的GUI，可同时实时显示四幅图像
     软件支持Undo和Redo功能

     ☆ 全面解析

     全面的纳米和亚纳米分辨率性能，适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、纳米器件、大块磁性样品等材料；

     ☆ 极 佳的灵活性

     非常灵活的处理范围广泛的样品类型，包括绝缘体，敏感材料，或磁性样品，并收集对您的应用重要的数据；

     ☆ SmartAlign技术

     使用SmartAlign技术(智 能调整光学系统)，实现光学系统自动调整，减少维护时间；

     ☆ 先进的自动化

     先进的自动化包括FLASH自动图像微调、撤销、用户向导、Maps成像拼接的FLASH技术；

     ☆ 实时定量EDS

     元素信息触手可及，利用ColorSEM技术，提供实时元素面分布成像定量分析，结果获取更加快速、简便；

     ☆ 标准工作流操作

     内置了User Guidance（用户工作流）功能，无论是初学者还是经验丰富，都能够快速上手，并稳定获取实验数据。